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液晶面板超純水
時間:2017-09-29 作者:純水一號
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液晶面板制造的前段Array制程主要是薄膜、黃光、蝕刻、剝膜四大部分。液晶面板生產(chǎn)大約50%以上工序中硅片與超純水直接接觸,有80%以上工序需要進行化學處理,而化學處理又與超純水有密切關系,并且直接與工件接觸,如果水質(zhì)不純,就會導致器件性能下降,影響產(chǎn)品性能,進而影響了產(chǎn)品的良率,因此,超純水的品質(zhì)對液晶面板發(fā)展有很大影響


1.超純水的重要性

在液晶面板生產(chǎn)過程中,大約50%以上的工序涉及到硅片與超純水的直接接觸,而80%以上的工序需要進行化學處理。這些工序中的任何污染都可能造成產(chǎn)品缺陷,影響顯示質(zhì)量和使用壽命。因此,超純水的水質(zhì)直接決定了液晶面板的最終質(zhì)量。

2.水質(zhì)要求

根據(jù)液晶面板的不同要求,超純水需要達到不同的電阻率標準,如10兆歐、15兆歐和18.25兆歐等,這些標準確保水中的雜質(zhì)被降到最低。尤其是現(xiàn)代液晶面板生產(chǎn)對水質(zhì)的要求越來越高,以適應越來越精細的生產(chǎn)工藝。

3.制備技術

超純水的制備通常采用多級水處理技術,包括反滲透(RO)、離子交換、紫外線殺菌和超濾等。這些技術結合使用,能夠有效去除水中的離子、有機物及微生物,確保水質(zhì)達到液晶面板生產(chǎn)的極高標準。

4.影響因素

超純水中的微量雜質(zhì)如硅、鐵、鈣等,即使在微小的濃度下,也能對液晶面板的性能產(chǎn)生負面影響。因此,生產(chǎn)過程中對超純水的持續(xù)監(jiān)測和控制是必要的。此外,水溫、pH值等參數(shù)也對水質(zhì)有顯著影響,必須嚴格控制。




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