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半導(dǎo)體超純水設(shè)備，也叫半導(dǎo)體超純水機(jī)，是指應(yīng)用離子交換和電滲析器等水處理設(shè)備將原水（或回水）中的離子交換樹脂進(jìn)行脫鹽，使原水（或回水）的水質(zhì)達(dá)到10~5μm數(shù)量級的處理工藝。半導(dǎo)體超純水設(shè)備工藝采用預(yù)處理+反滲透+ EDI+消毒工藝，預(yù)處理主要包括原水箱、原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、軟水器、保安過濾器。

半導(dǎo)體超純水設(shè)備原理：

1.通過活性炭過濾芯去除原水中的顆粒物；

2.采用 EDI超純水設(shè)備進(jìn)行脫鹽，將水中的離子去除；

3.通過保安過濾器，防止部分細(xì)菌和微生物進(jìn)入水箱，防止水箱內(nèi)細(xì)菌滋生；

4.將超濾膜與樹脂混合，形成高密度微濾膜；

5.使硬度離子和 COD等降低至50 ppm以下；

6.采用離子交換樹脂吸附水中的重金屬離子和有機(jī)物，降低水中 pH值；

7.進(jìn)行紫外線殺菌消毒。

在實際應(yīng)用中需要根據(jù)用水要求配置各種不同規(guī)格的超純水機(jī)來滿足生產(chǎn)需求?？梢詽M足生產(chǎn)不同產(chǎn)品或使用不同條件所需純水水質(zhì)要求，實現(xiàn)了高效連續(xù)化、自動化生產(chǎn)。在半導(dǎo)體超純水處理中，我們經(jīng)常會遇到這種問題：不知道該怎么設(shè)計設(shè)備和設(shè)計方案，甚至不知道如何進(jìn)行日常維護(hù)。我們來看看半導(dǎo)體超純水設(shè)備是如何工作的！

1.原水箱

原水箱的主要作用是儲存反滲透系統(tǒng)產(chǎn)生的濃水，用于沖洗反滲透膜組件、降低反滲率和保護(hù)保安過濾器等設(shè)備。

2.石英砂過濾器

原水箱內(nèi)的水通過過濾器的入口進(jìn)入過濾池，并由排污管排出，過濾池內(nèi)的雜質(zhì)被截留在濾料層上，再經(jīng)壓差表顯示并根據(jù)原水流量自動進(jìn)行反沖洗，將吸附在濾料層上的雜質(zhì)沖洗掉，以保證反滲透進(jìn)水水質(zhì)。

當(dāng)原水箱內(nèi)的水位達(dá)到設(shè)定值時，控制箱發(fā)出報警信號到操作管理室通知管理人員。操作人員通過控制箱上的手動閥來實現(xiàn)對原水供給裝置及反滲透系統(tǒng)的啟停以及對各產(chǎn)水電導(dǎo)率及脫鹽率數(shù)據(jù)的顯示。

當(dāng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時，管理室發(fā)出控制信號到操作管理室通知操作人員各產(chǎn)水電導(dǎo)率及脫鹽率數(shù)據(jù)；當(dāng)系統(tǒng)故障時，根據(jù)故障提示信息通知操作人員。

3.活性炭過濾器

活性炭過濾器主要是去除水中的顆粒雜質(zhì)、懸浮物和有機(jī)化合物，過濾出水中的無機(jī)物?；钚蕴窟^濾器，雖然價格相對便宜，但是其處理效果不太理想。原因是：由于活性炭顆粒之間存在縫隙，容易造成漏流，或者存在雜質(zhì)粘在活性炭的表面上。為了避免漏流或雜質(zhì)粘在活性炭表面上的情況出現(xiàn)，我們需要使用專業(yè)的除垢藥劑對活性炭進(jìn)行定期除垢。

4.軟水器

軟水器采用樹脂再生原理，用一定數(shù)量的交換離子使水軟化。軟水器除具有軟化功能外，還具有除垢、滅菌作用，并可去除水中的多種有機(jī)物及游離堿。當(dāng)原水通過進(jìn)水壓力裝置時，會在樹脂上生成一種帶有特定電荷的鈉離子或鉀離子，若原水中鈣、鎂、鋅等含量過高，則易形成水垢；若水中鹽類過多，會造成樹脂堵塞而使再生無效；若水溫過低（低于5℃）或因原水含懸浮固體及細(xì)菌等雜質(zhì)而使樹脂發(fā)生結(jié)垢現(xiàn)象。因此必須在原水進(jìn)入樹脂前加裝一個交換離子的裝置來防止上述情況的發(fā)生。在我國使用的軟水器主要有電滲析器、離子交換罐等。

以上就是為大家講解的半導(dǎo)體超純水設(shè)備的工藝流程及原理！